3D表面粗糙度的测量方法分析.doc

3D 表面粗糙度的测量方法分析李成贵 ;董申【期刊名称】航空精密制造技术【年(卷),期】1999(032)002【摘要】 近二十年内 ,精密和超精密加工技术对表面质量、性能的评价提出了越 来越高的要求 ,并且希望在三维范围内 "完整、全面 " 地表征表面的形貌 ;而微纳米 测量技术、光电子和计算机技术的发展 ,给三维表面微观形貌的分析奠定了坚实 的基础 ,致使这方面的研究十分活跃 .本文旨在对目前几种常见的三维表面测量方 法的基本原理、特征及应用范围作一简单的介绍和分析 .【总页数】 5 页(36-40)【关键词】 表面粗糙度 ;测量;表面形貌 ;三维形貌【作者】 李成贵 ;董申【作者单位】 哈尔滨工业大学精密工程研究所 ;哈尔滨工业大学精密工程研究所【正文语种】 中文【中图分类】 V2【相关文献】1. 表面粗糙度的光学测量方法 J, 李成贵 ; 董申2. 几种表面粗糙度测量方法介绍 J, 程书旗 ; 解君婷3. 表面粗糙度测量方法的探讨 J, 黄铁桥4. 表面粗糙度几种测量方法和注意事项 J, 付小华5. 钢球表面粗糙度测量方法探讨 J, 唐红霞