59142QSY、DSY透明石英玻璃仪器 标准 JC 181-1981.pdf

中华人民共和国建筑材料工业部 部标准 Q S Y , D S Y 透明石英玻璃仪器 尸 曰 一 一 同 一 一 一 一 一 一 气 I一I J C 1 8 1 - 8 1 i I 1 代 替 1 C 1 8 1- 7 3 I I L一 一 一 一 一 一 一 一 J 本标准主要用于半导体工业采用的透明 石英玻璃仪器.其他冶金、化工、科学研究等所用透明石 英玻璃仪器之技术要求均可参考本标准执行。 透明 石英玻璃仪器有Q S Y透明 石英玻璃仪器和D S Y透明 石英玻璃仪器两种。 技术要求 1 . 透明石英玻璃仪器的 化学成分，热稳定性，抗结晶 性和高温变色性，均不低于同类管材的要 求。 2 。 透明石英玻璃仪器在加工过程中 ，应尽量消除 应力，必须保证 在常温下逐步升温至1 1 0 0 C ， 在 炉内自然冷却后无炸裂. 3 。两种透明石英玻璃仪器均按加工部位的外观指标分为二级 见下表)。 加工过程中混入 ( 毫米) 0. 1 0. 30 . 3 . 1 . 0 允许数量 ( 个/ 1 0 0厦米. ) 一 一l _ _ _ 一_ _ 2 吊管接口应做到轴向平行径向垂直加工表面凸凹不 大于所用管材壁厚; 管材璧管 材 壁厚 一 长度未注明非重要部位的自由公差 ( 毫米) 锥度 ( 比例 5 、 : 。 、 : 5 一 5、 “ 1 0 , 1 “ 磨口与未加工亮面呈直线团周，弯曲度 ( 毫米) 磨口内亮面 ( 毫米. ) 不允许 号一号 号一号 塞口的高低公差 ( 毫米) 一二 通 活 塞 对 孔 误 差 不 允 许一 一 1 中 华人民共和臼斌筑材料工业部 发布 盆 筑 材 料 科 学 研 究 院提出 19 81 年 3月 1日实招 趁筑材料科学研究院拐， J CA8 1 J 8 1 共 z页第 2页 续表 .” 一 - 卜 ， ， 一 丫 一匕 竺 ( 4 * ' ) 一一 一 奋一 一 屯 10 - 一一一 1 1- 5 0 迹 一 f i4FR JJt ( /100 M t 1一 一一 一 一. 2 一一 一 2一 云_ 在加工复杂器件的过程中不易避免的部位 ( 半透明二1 r. : 仪器 的 二 级a 'a n 外 观 指 标 不低 于 相 应管 材的 三级 品 . ( 2 ) D S Y透明石英玻璃仪器: 仪 b 的 一 级 品 外 观 指 标 不 低 于 相 应 管 材 的 二 级 品 : 双器的二级品 外观指标不低于相应管材的四级品. 璐鑫日 rR t羊 r s ar .盛 绷襄枯举钾稗林旅盆 市贯猎业工舞林蒸盆曰汁共吴 出委翻 突 福 学 拜 ia l林.1 4 434 A 旅