JBT8945-1999.pdf
I CS 2 3. 1 6 0 J 7 8 中 华 人 民 共 和 国 机 械 行 业 标 准 J B/ T 8 9 4 5 - 1 9 9 9 真空溅射镀膜设备 V a c u u m s p u t t e r i n g c o a t i n g p l a n t 1 9 9 9 - 0 7 - 1 2发布 2 0 0 0 - 0 1 - 0 1实施 国 家 机 械 工 业 局 发 布 JB/ T 89 45- 1 9 99 前言 本标准由 全国真空 技术委员会提出 并归口 。 本标准起草单位:广东真空设备厂股份有限公司、 上海真空泵厂、沈阳真空技术研究所。 本标准 主要起草 人: 蔡东锋、 张远青、 李春影、 李玉英。 中 华 人 民 共 和 国 机 械 行 业 标 准 真空溅射镀膜设备 JB/ T 894 5- 1 9 99 Va c u u m s p u t t e r i n g c o a t i n g p l a n t 1 范围 本标准规定了真空溅射镀膜设备的型号和基本参数.技术要求.试验方法，检验规则， 装、运输和贮存等。 本 标 准 适 用于 压 力在1 x 1 0 -0 - 5 x 1 0 -' P a 范 围 的 真 空 贱 射 镀 膜 设 备( 以 下 简 称 设 备)o 2 引用标准 下列标准所包含的条文， 通过在本标准中 引用而构 成为本标准的条文。 本标准出版时， 均为有效。 所有标准都会被修订， 使用本标准的各方应 探讨 使用下列标准最新版本的可能性。 G B 1 9 1 -1 9 9 0包装储运图示标志 G B / T 6 0 7 0 -1 9 9 5真空法兰 G B / T 1 1 1 6 4 -1 9 9 9 真空镀膜设备 通用技术条件 G B / T 1 3 3 0 6 - 1 9 9 1 标牌 J B / T 1 0 9 0 -1 9 9 1 1 型真空用橡胶密封圈 J B / T 1 0 9 1 -1 9 9 1 J O型和 骨架型 真空用橡胶密封圈 型式及尺寸 J B / T 1 0 9 2 -1 9 9 1 0型真空用橡 胶密 封圈 型 式及尺寸 J B / T 7 6 7 3 - 1 9 9 5直宰设各刑号编制3 i 沈 标 志 、包 所示 版本 型号与基本参数 设备的型号应符合 J B / T 7 6 7 3的规定。 设备的基本参数应符合表 1 的规定。 表 3玉3. 基本参数 参数名称 参数数值 AB 极限压力 P a ,5x: 0 '65 x 1 0 一 ' 恢复真空抽气时间 m m 从大气压至7 x1 0 'P a 落 2 0 从大气压至7 x 1 0 “ P a , 1 0 升压率 Pa / h -18 x 1 0 “ 2 5 溅射电流变化率 上 5 % 国家机械工业局 1 9 9 9 - 0 7 - 1 2批准2 0 0 0 - 0 1 - 0 1实施 JB/ f 89 4 5-1 9 99 4 技术要求 4 . 1 设备 正常工 作条件 4 . 1 . 1 温度:1 0 - 3 0 1C 4 . 1 . 2 相对湿度:不大于 7 5 %. 4 . 1 . 3 冷却水进水温度:不高于 2 5 'C0 4 . 1 . 4 冷却水质量: 城市自 来水或质量相当 的水。 4 . 1 . 5 供电电源: 3 8 0 V, 相四线制、 5 0 H z ， 电压波动范围: 3 6 1 - 3 9 9 V， 频率波动范围: 4 9 - 5 1 H z 4 . 1 . 6 环境: 室内应整洁; 地面、 天 花板及设备周围墙 壁应干净; 空气应清洁， 不应有可引起电器及 其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘 埃或气体存在。 4 . 2 结构要求 4 . 2 . 1 设备中静、 动密封圈的结构形式及尺寸应符合G B / T 6 0 7 0 和1B/'r 1 0 9 0 - 1 0 9 2 的规定。 4 . 2 . 2 真空管道上和镀膜室靠近排气口 位置上应装 设真空测试规管， 分别测量各部位的压力。 4 . 2 . 3 如果设备以 油扩散泵或油扩散喷射泵为主泵， 应在其进气口 一侧安装油蒸气捕集阱。 4 . 2 . 4 镀膜室应设有观察窗， 对在被膜过 程中发生射 线的设备， 观察窗上 应加装防射 线镜 片。 4 . 3 制造质量 设备的 制造质 量要求按G B / T 1 1 1 6 4 -1 9 9 9 中4 .4 0 4 . 4 安全防护要求 设备的 安全防 护要求按G B / T 1 1 1 6 4 -1 9 9 9 中4 . 5 . 5 试验方法 5 . 1 极限压 力 5 . 1 . 1 试验 条件 a ) 镀膜室内为空载 ( 即 不放被镀 物品， 也不进行溅射) ， 不得拆去 设备正常下作时应安装的溅射 源、工件支架等部件; b ) 真空 测量规管应装于 镀膜室靠近 排气口 位置上; c ) 允许在抽气过程中 用设备本身配有的加热或轰击 装置对镀膜室进行除气。 5 . 1 . 2 测试方法 按 G B / T 1 1 1 6 4 -1 9 9 9 中的 5 . 2 . 2 . 5 . 2 镀膜室恢复真空抽气时间 5 . 2 . 1 试验条件 按5 . 1 . 1 0 5 . 2 . 2 测试方法 按GB / T 1 1 1 6 4 -1 9 9 9中的 5 . 2 . 2 . 5 . 3 升压率 5 . 3 . 1 试验条件 按5 . I . 1 o 5 . 3 . 2 试验方法 JB/ T 5 94 5- 1 9 99 按 G B /T 111 6 4 -1 9 9 9 中的 5 .3 .2 5 . 4 溅射电流的变 化率 设备在镀膜过程中， 阴极稳定工作后飞 测得溅射电 流在3 m i n 范围内( 若镀膜过程少于3 m i n 。 则 在整个镀膜过程内) 的变化值， 并按下式计算变化率: I- _一I_: _ 环= x 1 00 % I m a+' m m 2 式中:W - 溅射电流的变化率; I . . . 正 常 工 作 时 实 测 最 大 溅 射 电 流 值， A ; I . 正常一 作时实测最小溅射电 流值， A o 5 . 5 测量用仪表设备 S . ， . 1 测量极限压力、 镀膜室恢复真空抽气时间、 升压率所使用的真空计应为设备本身配套者， 并应 在有效期限内。 5 . 5 . 2 测量溅射电流的变化率所 用的电流表应为 设备本身配 套者， 并应 在有效期限内。 6 检验规则 6 . 1 每台 设备均须经制造厂质量检验部门按本标准及有关技术文件进行检验， 检验合 格的 设备应附 有 检验部门及检验人员签字的产品合格证书方能出厂。 6 . 2 设备的检验分为出 厂检验和型式检验 6 . 2 . 1 出 厂检验 出厂检验应逐台进行， 其检验内 容包括3 .2 及G B / T 1 1 1 6 4 -1 9 9 9 中6 .5( 除4 . 2 . 以 外 ) 的全 部内 容。 6 . 2 . 2 型 式检验 设备的型式检验项目 为3 .2 及G B / T 1 1 1 6 4 中的4 .4 .4 , 4 .4 .6 , 4 .5的全部内容二 6 . 2 . 2 . 1 设备属于下列情况之一时，应 进行型 式检验: a )试制的新产品; b ) 设备在设计，工艺或材料上有重大变更时; c ) 同 类产品的 评比定级时; d ) 成批量产品每年进行一次定期抽查， 每次抽查该批的 1 5 %( 不得 少于2 台) ， 如有一项不合格， 则应重新抽 取加倍数量的产品进行复检， 如仍有不合格， 则进行逐台检验 6 . 3 检验时的检验方法按第 5 章的规定进行。 ， 标志、 包装、 运输和贮存 7 . 1 标志 每台设备应在其明显部位装设标牌， 标牌应符合G B / T 1 3 3 0 6的规定。其内容应包括制造厂商 标、 厂名、 地址、 设备名称、 M . 号、 出厂编号和出厂日 期等。 7 . 2 包装 7 . 2 . 1 设备 包装应采取防震、 防潮、 防雨等 措施， 以确保 设备在装卸、 运输、 贮存等 过程中 不发生损 JB/ T 9 94 5- 1 9 99 坏、锈蚀及降低精度等情况 ， . 2 . 2 设备的包装箱上应有防水目 不易脱落的发货 标志。设备的 包装、 运输作业标志应符合G B 1 9 1 的规定。 7 . 2 . 3 设备包装前，应 将设备中的 残余积水或废屑清除干净， 并 应保证密封面不受损伤 对易锈金属 必须采取防锈措施。 7 . 2 . 4 7 . 3 随机文件应包括装箱单、出厂合格证书、 使用说明书等，目 装 在不透水的塑料袋内。 运输 设备的运输必须保证 设备及其包装不发生损伤。设备在运输过程中有可能松脱的零、 部件应有防 松措施。运输中应防止 日晒、 雨淋和剧烈震动。 ， . 4 贮存 设备应贮存在相对湿度不超过 9 0 % 的通风良 好的场所， 该场所必须没有可引 起腐蚀的酸、 碱蒸气 和气体存在。
