JJG-740-2005.pdf
UU场 中华人民共和国国家计量检定规程 J J G 7 4 0 -2 0 0 5 研 磨 面 平 尺 Mi l l i n g S t r a i g h t E d g e s 2 0 0 5 一0 3 一 0 3 发布 2 0 0 5一0 9一0 3实施 国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局发布 J J G 7 4 0 - 2 0 0 5 研磨面平尺检定规程 J J G 7 4 0 - 2 0 0 5 V e r i f i c a t i o n R e g u l a t i o n o f Mi l l i n g S t r a i g h t E d g e s 代 替 J J G 7 4 0 - 1 9 9 1 40 、 . 0. 0 . o. o . 0- 一 一 。 - 一-一 0 o . 0 . o. 本规程经国家质 量监督检验检疫总局于 2 0 0 5年 3月 3日批准 ，并 自 2 0 0 5 年9 月 3日 起施行。 归 口 单 位 :全国几何量工程参量计量技术委员会 起 草 单 位 :北京市计量科学研究所 本规程委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释 J J G 7 4 0 - 2 0 0 5 本规程起草人 : 马桂茹( 北京市计量科学研究所) 吴迅( 北京市计量科学研究所) 刘振福( 北京市计量科学研究所) J J G 7 4 0 - 2 0 0 5 目录 1 范围· · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ， · · · · · · · · · · · · · · · · · · ( 1 ) 2 引用文献. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .( 1 ) 3 概述· · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 4 · · · · · · · · · · · · · · · · · · ( 1 ) 4 计 量 性能 要 求· ·· · ·· ··· · · · ·· · ·· · · ·· · ·· · ·· · ·· ·· · ·· · · ·· · ·· · ·· · ·· ·· · ·· · ·· · ·· · · ·· · ·· · ·· · ·· ·· · ·· · ( 1 ) 4 . 1 工作面的表面粗糙度 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ( 1 ) 4 . 2 工 作 面 的 平面 度· . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 2 ) 5 通用技术要求· · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ， · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ( 2 ) 5 . 1 外观 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ( 2 ) 5 . 2 表面质量· · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ( 2 ) 6 计量器具控制· · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ( 2 ) 6 . 1 检定条件· · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ( 2 ) 6 . 2 检定项目· · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ( 2 ) 6 . 3 检定方法 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ( 2) 6 . 4 检 定结果的 处理· · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ( 4 ) 6 . 5 检定周期 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ( 4) 附录 A 等倾干涉法测量平面度及计算 · . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .( 5) 附录 B 常用段 ( n = 3 一 6 )分段法计算式 ( 1 )的简化公式 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ， · ( 8) 附录 C 分段测量研磨面平尺工作面平面度的数据处理示例 · . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 9) 附录 ll 研磨面平尺工作面平面度测量结果不确定度评定 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ( 1 3 ) 附录 E 检定证书和检定结果通知书内页格式 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . · 一 ， · · ( 2 1 ) J J G 7 4 0 - 2 0 0 5 研磨面平尺检定规程 范围 本规程适用于研磨面平尺首次检定、后续检定和使用中检验。 2 引用文献 本规程引用下列文献: J J G 2 8 -2 0 0 0 平晶 J J G 6 6 1 -2 0 0 4 平面等倾干涉仪 J J F 1 0 0 1 -1 9 9 8 通用计量术语及定义 J J F 1 0 5 9 -1 9 9 9 测量不确定度评定与表示 J J F 1 0 9 4 -2 0 0 2 测量仪器特性评定 I S O 1 4 2 5 3 . 2 : 1 9 9 9 测量设备校准和产品检验中G P S 测 量不确定度评定指南 使用本规程时，应注意使用上述引用文献的现行有效版本。 3 概 述 研磨面平尺是一种精密的平面标准器具，其结构形状如图 1 中 ( a ) , ( b )所示。 研磨面平尺主要用于检定刀口形直尺工作棱边的直线度。 口 ( a ) 皿 图 1 研磨面平尺结构示意图 4 计t性能要求 4 . 1 工作面的表面粗糙度 研磨面平尺工作面的表面粗糙度 ， 应符合表 1 的规定。 表1 研磨面平尺工作面的表面粗糙度 研磨面平尺长度/ m m 五 . 值/ 1! m 毛 3 3 0 3 3 0 ,0 . 0 2 5X0 . 0 5 d .1 G 7 4 0 - 2 0 0 5 4 . 2 工作面的平面度 研磨面平尺工作面的平面度，应符合表 2的规定。 表2 研磨面平尺工作面的平面度 研磨面 平尺长度L / m m2 0 0 _ L3 0 0 3 0 0 _ L 5 0 05 0 0 _ L 工作 面 平 面度 纵向 全长/ p m 续0 . 1 5(0 . 4(0. 5 局部/ ( 1, m / m m ) X0. 2 5 / 2 4 0X0. 4 / 4 0 0 横向/ p m _0. 1 5 注: 研 磨面 平尺 有 效 工 作 长 度从 ， 二 L 一 2 a . 2 a 研磨面平尺两端点减去的长度，一般取 a = 5 m m o 5 通用技术要求 5 . 1 外观 研磨面平尺非工作面上应标有制造厂名 ( 或厂标) 、产品编号、尺寸规格及退互 二 标 志 。 5 . 2 表面质量 研磨面平尺工作面不得有锈迹、裂纹、划痕、碰伤及影响测量准确度的其他缺陷。 研磨面平尺应无磁。 后续检定和使用中检验允许有不影响测量的上述缺陷。 计，器具控制 计量器具控制包括首次检定、后续检定和使用中检验。 6 . 1 检定条件 6 . 1 . 1 环境条件 6 . 1 . 1 . 1 检定室温度应为 ( 2 0 士 5 ) 1 C ;温度变化不得超过0 . 1 C / h 和 1 ' C / 2 4 h . 6 . 1 . 1 . 2 检定室内的温度与仪器保温箱内的温度之差应不大于0 . 2 90o 6 . 1 . 1 . 3 研磨面平尺在检定室内平衡温度的时间应不少于 1 0 h 。长平晶与研磨面平尺放 置在仪器内的时间，对小于等于 3 3 0 m m研磨面平尺和 2 1 0 m m长平晶应不少于 l h ;对大 于3 3 0 m m研磨面平尺和3 1 0 m m长平晶应不少于 1 . 5 h . 6 . 1 . 2 检定设备 检定设备见表 3 0 6 . 2 检定项目 检定项目见表 3 0 6 . 3 检定方法 6 . 3 . 1 外观及表面质量 目力观察与手动试验。 6 . 3 . 2 工作面的表面粗糙度 J J G 7 4 0 - 2 0 0 5 用表面粗糙度比较样块比较法测量。有争议时用表面粗糙度测量仪测量。 6 . 3 . 3 工作面的平面度 以长平晶作为标准，在平面等倾干涉仪 ( 装置)中对研磨面平尺平面度进行测量。 当被测研磨面平尺的有效长度小于或等于长平晶的长度时，采用等倾千涉法 ( 见附 录 A )整段测量。 当被测研磨面平尺的有效长度超过长平晶长度 ( 如 3 0 0 m m或 5 0 0 m m研磨面平尺和 2 1 0 m m长平晶)时，采用等倾干涉法分段测量。 表 3 检 定项 目和主要检定设 备 J -T-剂 碱 p to H1 3h 1 tfi t 主要检定设备首次检定后续检定 使用中检验 带11.AR9aRtc AR ftkf61X ( T)f l ! 11' “1l. 一 注 :表 中 “十”表示应检项 目;“一”表 示可不检项 目。 分段测量的步骤: 等倾干涉法分段测量时，每段测量长度为 1 8 0 m m，在 1 8 0 m m长度上测7 个点， 计算 各测点对 0 与 1 8 0 m m两点连线的偏差。然后仪器工作台退回一半即9 0 m m ，加接长管， 光斑中心对准 9 0 m m处十字线，移动长平晶 ( 此时被测研磨面平尺不许做任何移动) ， 并使长平晶的零 十字刻线处于光斑中心上;且移动工作台时长平晶上所有十字线都能通 过光斑中心，取下接长管，让十字线与干涉环中心重合，移动工作台保证所有十字线都 能通过千涉环 中心。经过适当等温后 ，进行测量 ( 9 0 一2 7 0 ) m m间各测点对 9 0 m m与 2 7 0 m m两点连线的偏差。 对于研磨面平尺长度不足 9 0 m m的部分，可以将长平晶只移位 3 0 m m或 6 0 m m 。例 如，测量 3 3 0 m m的研磨面平尺可分为三段测至 2 7 0 m in ， 然后再将长平晶移动 3 0 m m即测 量 1 2 0 m m至 3 0 0 m m间各测点对 1 2 0 m m与 3 0 0 m m两点连线的偏差。 根据 9 0 m m处对 。 与 1 8 0 m m两点连线的偏差 a , , 1 8 0 m m处对9 0 m m与 2 7 0 m m两点连 线的偏差 a 2 , ，a ; _ , ， 按式 ( 1 )求出9 0 m m , 1 8 0 m m , 2 7 0 m m ,各点对。 与3 0 0 m m 两端点连线的偏差关。 f = 2 三 ( 。 一 ， ) a , + ( n - 2 ) a , + . + a _ ,一 厂 “- 1 ) a , + ( i - 2 ) a , + 二 。, I ( 1 ) 式中:n 段数; i -测点序号。 常用段 ( ， : 二 3 一6 )的分段法计算式 ( 1 )的简化公式见附录 S o 按.瓜， f l 8 0 ，一之值将其余各点补插进去。对 1 2 0 m m , 1 5 0 m m等位置有重复偏差 J J G 7 4 0 - 2 0 0 5 五 、 ， f e w 的 ( 重复偏差之差应不大于1 / 6 平面度要求， 否则应重测) ， 取其平均值 为 测量值。 并根据长平晶各点平面 度偏差和自 重变形量 ( 见J J G 2 8 -2 0 0 0 平晶检定规程 附录 F )对研磨面平尺各对应点进行修正后，按符合最小条件准则处理后得到测量结 果。 分段测量研磨面平尺工作面平面度的数据处理示例见附录 C o 研磨面平尺横向平面度用平面平晶等厚干涉法进行测量。 也可用带有 笋 3 1 0 m m标准平晶的等厚干涉仪测量。当有争议时以等倾干涉法测量结 果为准 。 6 . 4 检定结果的处理 经检定符合本规程要求的研磨面平尺发给检定证书。不符合本规程要求的，发给检 定结果通知书，并注明不合格项 目。 6 . 5 检定周期 研磨面平尺的检定周期根据使用情况确定，一般不超过 1 年。 J J G 7 4 0 - 2 0 0 5 附 录 A 等 倾干 涉法 测量 平面度 及计 算 等倾干 涉法测量原理如图A . 1 所示。 将两块尺寸差小于0 . l tL m的量块，分别研合在长平晶工作面上两端。也可用专用 的三球支承 架 ( 钢球直径为3 . 1 8 m m三个钢球的直径差应小于0 . l y m )代替量块。 使用 球支承架时，支承架的 3 个支承点应尽量与工作台支承点相重合。 图A. 1 等倾干涉仪 ( 装置)测量原理示意图 1 一观察孔;2 一玻璃分化板;3 一半反射镜;4 -透镜;5 一光阑;6 一光源: 7 一长平晶;8 一支承量块;9 -被测研磨面平尺;1 o-一 支承;I 1 一可称动工作台 被测研磨面平尺工作面向上，放在仪器工作台的两个可调距离支承点上，两支承点 a w T R m 1iff ft f * R 普 : 处( 1,-IR M R * R ikc f ) 。 此 、将 长 、。研 、其 上的量块 ( 或球形支承架)放在被测研磨面平尺工作面上。 被测研磨面平尺工作面与长平晶工作面，由量块支承 ( 或球形支承架支承)形成一 个平行空气层。它位于平面等倾干涉仪 ( 装置)光路中的聚焦点附近，并与光轴垂直， 此时在平面等倾干涉仪 ( 装置)目镜里可观察到一组等倾干涉环。这时工作台从一端移 至另一端时，两端干涉环级数的变化应不超过一环。再将测微 目镜取下，装上接长管， 重新套上测微 目镜，调整 目镜 ( 即调整接长管的工作长度) ，使 目镜视场内能同时见到 照明光斑的像与长平晶上的十字线。调整长平晶上各点的十字刻线与工作台运动方向平 行，且光斑中心与十字刻线重合。将零十字刻线调到光斑中心上，并调整位移手轮上的 刻度至零位或需要 的位置上 ，然后取下接长管，装上测微 目镜，再次检查干涉环的变 5 J J G 7 4 0 - 2 0 0 5 化，直至两端的干涉环变化小于一环为止。将仪器保温箱门关上，按要求平衡温度。 用等倾干涉法测量研磨面平尺平面度，实质上是测量研磨面平尺工作面与长平晶工 作面间空气 层厚度的 变化。设各点空气层厚度为 H o , H , H 2 , ，H n ， 则某一点 i 对 两端点 ( 0 点和 n点)连线的偏差 F : o F 一 卜 L;1。 · L;Ln H a + Ln H n 一 H i ( A. 1 ) 式中:F : -i 点对。 点与 n 点连线的 偏差; H o , H、H - 0 点、i 点及n 点的空气层厚度; L : -i 点到。 点的距离， m m ; L a -n 点到。 点的 距离，。 。 设。 点的空气层厚度H 。 二 K 。 十 K o , K o 为。 点空气层厚度中干涉仪级数， A K o 为 其干涉级数的小数部分， 其他各点的空气层厚度 H , = A K ; + K o , A K为i 点空气层厚度 减去K o 而剩下的干涉级数。若用干涉级数表示对两端点连线偏差，则 F = 朴 一 L 1 A K “ · L' O K , K = (A K 。 一 K ， 一 会 ( A K 。 一 、 ) ( A. 2 ) 工作台移动时，当移向空气层厚度变小处 ，在视场中可以看到干涉环会一环一环向 中心收缩以致消失，每消失一个干涉环，表明长平晶与被测研磨面平尺表面空气层厚度 (亦 即 长 平 晶 与 被 测 研 磨 面 平 尺 工 作 面 距 离 刁 、 了 合 ; 当 干 涉 环 扩 张 时 ， 每 扩 张 一 个 干 涉 环 ， 则 表 明 其 厚 度 增 大 了 粤 ) o 2 一 卜、 曰 、2 为了使得到的结果 “ + ”表示 凸， “ 一 ”表示凹，规定每收缩消失一个干涉环时， 表示干涉级数 “ 增大”一级 ( 用 “ +1 ”表示) ;每扩大产生一个新干涉环时，表示干涉 环级数 “ 减少”一级 ( 用 “ 一 1 ”表示) 。 通常，干涉环收缩或扩张不到一个环的小数部分 K i ，可用下式计算: “ 干 涉 环 扩 张 时 ， “ = 一 (D i)2 (gym )D o + 6 JT Wk V 时 ， A K , = 卜1D n 12 J 合(ti m ) ( A. 3 ) ( A. 4 ) 式中:D , -i 点所测干涉环直径，m m ; D o 仪器 标准干涉环直径， m m ; 几 光波波长， Km. 标准干涉环直径 D 。 是根据空气层厚度确定的仪器常数， 提供，也可以通过实测由式 ( A. 5 )确定: D o = N L 万 二 研 式中:D ; , ， 与 D ; 相邻两干涉环直径。 6 由仪器 出厂及周期 检定 时 ( A. 5 ) J J G 7 4 0 -2 0 0 5 为保证D 。 的准确， 应取多次测量的平均值。测量次数不得少于1 0 次， 每次测量时 应改变干涉环直径。 当测量一组干涉环直径时，标准干涉环直径可由式 ( A . 6 )求得 : D o 1 2 习( 一 ) D Zx 一 6 ( i 一 1 ) 习D R K ( K一1 ) ( K+1 ) ( m m)( A. 6 ) 式中:K 自中心起的干涉环环数 ; D x 自中 心起第 i 环的直径。 当 K=4时 Do 3 ( D ; 一 D zi ) + ( D ; 一 D Z ) 1 0 ( m m)( A. 7 ) 当 K=5时D 2 ( 。 ; 一 刀 : ) + ( 刀 卜 刀 : ) 1 0 ( A. 8 ) 测量时，将被测研磨面平尺工作面分为7 个测点逐点检定，移动工作台观察并记取 每段干涉环的 变化量 K i ，检定每段不到一个环的小数部分并计算出G K ; 再按式 ( A . 9 ) 进行计算，求得被测研磨面平尺工作面各测点对两端点连线的偏差 F: F = I K · ( 、 。 一 、 ) 卜合 。 、 。 · ( 、 。 一 、 。 ) 合 ( A. 9 ) 式中: K i 从。 点到 i 点干涉环变化的整数部分; K . 从 。 到 n 点干涉环变化的整数部分; A K , - 0 点干涉级数小数部分; O K , 从 。点到 i 点干涉环变化的小数部分; A 若出现符号相反时，按符合最小条件准则 处理得到被测研磨面平尺工作面的平面度。 J J G 7 4 0 - 2 0 0 5 附录 B 常用段 ( n二 3 一 6 )分段法计算式 ( 1 )的简化公式 n 二 3: 五 4 a , +2 a 2 一3 f 2 2 a , +4 a 2 3 几 二 4 A 6 a , +4 a 2 +2 a 3 =4 f 2 4 a , +8 a 2 +4 a 3 4 儿 2 a , +4 a 2 +6 a 3 4 n二5: 、 _ 8 a , + 6 a 2 + 4 a 3 + 2 a 45 f 2 几 f 4 6 a , +1 2 a 2 +8 a 3 +4 a , 一5 4 a , + 8 a 2 +1 2 a 3 + 6 a 4 一5 2 a , +4 a 2 +6 a 3 +8 a 4 一5 n=6: 五 1 0 a , +8 a , +6 a ,+ 4 a , +2 a , 一6 几 儿 人 8 a , + 1 6 a , + 1 2 a , +8 a , + 4 a 5 一6 6 a , +1 2 a 2 +1 8 a 3 +1 2 a 4 +6 a , 一6 4 a , +8 a 2 +1 2 a 3 +1 6 a 4 +8 a , 一6 .f s 2 a , +4 a 2 +6 a 3 +8 a 4 +l O a s 一6 8 J J G 7 4 0 -2 0 0 5 附录 C 分段测t研磨面平尺工作面平面度的数据处理示例 对于3 0 0 m m研磨面平尺，可用2 1 0 m m长平晶在等倾干涉仪中分段测量。测量时分0 至 1 8 0 m m, 9 0 m m至 2 7 0 m m , 1 2 0 m m至3 0 0 m m三段进行，每次测量 1 8 0 m m段中的7 个测 点 ， 共得 2 1 个读数，并按下述方法进行数据处理，参见表 C . t o C . 1 计算 0 至 1 8 0 m m间各点对。与 1 8 0 m m两点连线的偏差 按式 ( A . 9 )且考虑长平晶平面度偏差 ，计算该 1 8 0 m m长度上各测点对 0与 1 8 0 m m 两点连线的偏差。 C . 2 计算 ( 9 0 至2 7 0 ) m m间各点对9 0与2 7 0 m m两点连线的偏差 按式 ( A . 9 )且考虑长平晶平面度偏 差，计算该 1 8 0 m m长度上各测点对 9 0与 2 7 0 m m两点连线的偏差。 C . 3 计算 ( 1 2 0 至 3 0 0 ) m m间各点对 1 2 0 与 3 0 0 m m两点连线的偏差 按式 ( A . 9 )且考虑长平晶平面度偏差，计算该 1 8 0 m m长度上各测点对 1 2 0与 3 0 0 m m两点连线的偏差。 C . 4 计算 ( 0 至 2 7 0 ) m m间各点对 0 与 2 7 0 m m两点连线的偏差 根据表C . 1 , 9 0 m m处对。 与 1 8 0 m m两点连线的偏差 a , =一 0 . 0 7 6 p m , 1 8 0 m m处对 9 0 与2 7 0 m m两点连线的偏差 a 2 =一 0 . 2 0 5 1 c m ， 按式 ( 1 )或附录B 中简化公式计算， 求 得 9 0 m m及 1 8 0 m m处对。与2 7 0 m m两点连线的偏差 f . f 9 0 二 五w二 4 a , +2 a 2 3 2 a , +4 a 2 3 4 x( 一 0 . 0 7 6 ) + 2 、( 一 0 . 2 0 5 ) 3 2 x( 一 0 . 0 7 6 ) + 4 x( 一 0 . 2 0 5 ) =一 0 . 2 3 8 ( l e m ) =一 0 . 3 2 4 ( 1 c m ) 再根据几及五 ， 的 值将其余各点补插进去， 从而求得被测研磨面平尺0 至2 7 0 m m间 各点对 。 与 2 7 0 m m两点连线的偏差。 对于五 2 0 及无 5 。 各有两个测得值， 分别计算相应测得值之差，当其不超过3 0 0 m m 研 磨面平尺平面度要求 ( 0 . 4 1 e m )的1 / 6 时 ( 超过时 应重测) ， 取其平均值作为测得值。即 关2 0 二 f ,5 .= ( 一 0 . 3 1 4 )+ ( 一 0 . 3 1 0 ) 2 =一 0 . 3 1 2 ( ji m ) ( 0 . 3 4 5 )+ ( 一 0 . 3 2 5 ) 2 =一 0 . 3 3 5 ( N m ) C . 5 计算 。 至 3 0 0 m m间各点对 。 与 3 0 0 m m两点连线的偏差 在 1 2 0 m m至 3 0 0 m m测量段 内，以 1 2 0 m m与 2 7 0 m m两点连线为基准，并延长至 3 0 0 m m，得到 3 0 0 m m这点对此连线的偏差。这点偏差与在 0 至 2 7 0 m m测量段内测量结果 中连接 1 2 0 与 2 7 0 二 两点并延长至3 0 0 m m得到的偏差叠加起来 ，得到 3 0 0 m m这点偏差， 即可求得 0 至 3 0 0 m m间各点对 0 与 3 0 0 m m两点连线的偏差。按符合最小条件准则处理 得到测量结果 ( 参见表 C . 2 ) o JJG 7 叨一2 佣5 表 C. 1 Do二3 . 9 2 mm 检测 位置 ( mm ) 一干 涉 环 直 径 lm 。一 一 干涉带级数 天 C ， 二凡 一K。 乙 二 C 乙 n did 2d=d l 一注 ， 06 . 6 2 2 . 5 3 一 一 4. 00一0. 0 90O 3 O6 . 4 12. 5 73. 8 4 一 一 十0. 0 4 I + 0 . 1 3一0， 0 1 606 . 3 82 . 6 83. 7 0+0. 1 1+0， 2 0一0， 0 龙 9O6 . 3 92. 6 03. 7 9+0 06+0 1 5一0 . 0 3 5 1 20 6 . 5 22 5 04. 0 2一0. 0 5十0. 04一0 0 5 1 5 06 . 5 92 . 4 34. 1 6一0. 1 3一0， 04一0. 06 1 8 06 6 1 一 一0 1 6一0 0 7一0. 07 906 6 62 . 5 64. 1 0一0， 0900 1 206. 7 0 一 24 5 ll ) 4 . 3 4 一 一0. 2 3一0. 1 40 1 5 05 8 03 . 442. 3 6一0. 2 6一0. 1 7 一 一 一0 0 1 1 8 05 8 02 . 4 72. 3 3一0. 3 5一0. 2 6一0 ， 0 1 2 1 06 . 7 7 2 . 4 84. 2 9一0 20一0， 1 1一0 . 0 1 2 4 06. 7 42 . 5 44 . 20一0 . 1 5一0 . 0 6一0 . 02 2 7 0 6. 7 0 2 5 74 . 1 3 一0 . 1 一0 . 0 2一0 . 02 1 2 06 6 92 . 5 24 . 1 7一0 . 1 300 1 5 06 . 3 02 . 4 23 . 8 8 - 一 0 . 0 2 l +0 . 1 1一0 . 0 1 1 8 06 . 1 0 2 . 1 2 3 . 9 8 一0 . 0 3+0 . 1 0一0 0 3 2 1 06 3 22 . 1 5 一 0一0 ， 04 2 4 06 . 4 22. 204. 2 2一 0 . 1 6一0 . 0 3一0 . 0 5 2 7 06 . 4 52. 2 3 4. 2 2 一 一 0 . 1 6一0 . 0 3一0. 0 7 3 oo6 . 5 0 2 20 4. 3 2一 0 . 2 1一0 . 0 8一 0 . 0 8 l 0 J J G 7 4 0 - 2 0 0 5 a二0. 5 9 0 k m 乙。 = L C . 一 百 二 C _ L F ; 二 . x 冬 艺 ( l e m ) 长平 晶平 面度偏差 21 , 1 p . 被 测研磨 面平 尺局 部偏 差 F, ' 二F 一A 一 会 、。 被测研磨面平尺 两点连线偏差 I t e m ; 二 F ， + L h 0000一 一 0 0 +0. 1 4+0. 0 4 1+0. 0 7 0 一 一0 . 0 2 9 一0 . 0 5 4一0. 0 8 3 +0. 2 2 +0. 0 6 5+0. 1 1 9一0 . 0 5 4 一 0 . 1 0 8 I 一0. 1 6 2 +0. 1 8 5+0 . 0 5 5+0 . 1 3 1一 0 . 0 7 6一0. 1 6 2 一0. 2 3 8 +0 , 0 9+ 0. 02 7+0 . 1 2 5一0 . 0 9 8 I - 0 .2 1 6 一0 . 3 1 4 I_ +0 . 0 2 十0.0 0 6 +0 . 0 8 1 一0 . 0 7 5 ! 一0. 2 7 0 .345: 一 0000一0. 3 2 4 一 1一 0000一0. 2 3 8 一0 . 1 4一0 . 0 4 1+0 . 0 7 0一0. 1 1 1一0. 1 9 9 _ 0 .3 10一 一0 . 1 6一0 . 0 4 7+0 . 1 1 9一0. 1 6 6 一0. 1 5 9 J 一0 . 3 2 5 一0 . 2 5 一 0 . 0 7 4 +0 . 1 3 1 一0. 2 0 5一0. 1 1 9一 0 . 3 2 4 一0 . 1 0一 0 . 0 3 0+0 . 1 2 5一0. 1 5 5一0. 0 7 9一0 . 2 3 4 一0 . 0 4 一 0 . 0 1 2 +0 . 1 8 1一0. 0 9 3 一0. 0 4 0一 0 . 1 3 3 000000 0000 一0. 3 1 2 一 +0. 1 2 + 0 . 0 3 5+0. 0 7 0一0 . 0 3 5一0 . 2 5 0 +0. 1 3 +0. 0 3 8 +0_ 1 1 9一0 . 0 8 1一0 . 1 8 7 +0. 0 4+0. 0 1 2+0. 1 3 1一0 . 1 1 9一0 . 1 2 5 】一 +0. 0 2+0. 0 0 6+0. 1 2 5一0 . 1 1 9一0 . 0 6 2 +0. 0 4 +0. 0 1 2 +0. 1 8 1 一 。 . 0 6 9 一 0000+ 0 . 0 6 2 1 l J J G 7 4 0 -2 0 0 5 欲660!0“660.0，!0“气 gcnO 令 ; 二 令 l O 口口 巴 O I 叼 李 一 O I r J OC r刀 O l O .、 m O I 心 卜 亡门 O I 今 V口 r尸 O 1 ，- OJ 吧护 O l 途 O 心 二 碉 撰 攫 O r ，门 C 加 O ! O、 N O O l 寻 O O l O( h O O ! r r 卜向 O O l r OO O O l NO O I O; 甘 寸 .，叫 O I 蓄 Nr 二 嗜 誊 蟹E x N O t甲1 以 二 O C 匀 吞 r刀 心 尸叫 0 万 口( r尸 r 刁 0 诊 七尸 O r尸 0 I 户刀 O巴 户刀 O I 办 一 rV 0 I O 七 尸 ，. 0 r O 们 寸 ，叫 0 十 二 1 P $ 攫 丫0 履琴 F$ H 昌M 目9 里蓄 荔N NMO 护.叫 r 、 卜刁 O l 导 O 刀 O I 屺护 O 户 刀 O I 叱 护 刀 ”叫 O 1 O 了 1 寸 尸.叫 O 十 圈 mr N E rx : N 首 'I L (V ' :4 Ccn 那钾圈琴 O ，.， N O O I 叹 ， 、 甘) O O I 心C r毛 O O ! 落 O O I O r尹 O巴 O O + 咽 撰 樱 CJ 寸 ，叫 O O + CO 广 J O O 十 9 O + 刀 n v 1 0 0 + C 六 吕 0 + pr 以 O 0 + 洲 嗜 N E N0 言 IT rl艇 绷 忍0 冲钾叹遐 0 叼勺 r 尸 0 C二 . 月 一 oc 0 C ) I a0 a 一 ，目 0 ! a 吕 心 I 0 ，酬 旧心 t二 ， 洲司 口 0 呈rl N O 州 玛 忍N N 尸州 尸 O C 七尸 C 刀 O ! 叹 、 口( 尸叫 O l 尸】 N ， - O I 广刀 8 O ! O N 旧 O O 十 ，崛 隆 心J ; ， 洲2口 i l l昌el 匕O 蕊 N勺 致 绷 O r尸 O 巴 O O I r刀 心 ，.叫 O I 口( rr C 刀 O I 户习 尸. 创 O I MO 甘 f J r尸 O I 寸 护 户刀 O I C门 t们 目 O I O 毫 咧吕 理 +乏 O O导家 NOO邑ON q NON SM 1 2 J J G 7 4 0 -2 0 0 5 附录 D 研磨面平尺工作面平面度测量结果不确定度评定 D. 1 概述
