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Metal腐蚀工艺介绍 豫 量 讼 沿 曝 孽 瘟 旱 音 铁 衣 帽 倡 贮 藤 四 圣 拂 虹 秘 抠 组 家 扶 苫 课 詹 舱 乒 棺 硼 狱 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 目录：目录： 简介 Metal结构、成分 Metal腐蚀工艺 常见异常介绍 袁 瑰 独 脂 阔 乒 踞 艺 咋 缴 赋 廖 周 劲 孽 苍 挞 颖 凰 徒 焦 诧 身 夫 酷 饰 氖 武 绥 我 柱 纫 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 ICIC结构结构: : 金属在半导体器件中，主要起导线作用。 Al-1 Al-2 Al-5 STI PMD IMD-1 IMD-2 STI RTO/CVD Nitride CVD Oxide CMP, RPS Oxide/Nitride Strip Spacer (Oxide, Nitride) LP CVD, PE CVD Polycide Gate Centura Poly Dep Salicide TiSi 2 PVD Ti / RTA Gate Oxide (RTO) n+ n+p+ p+ P-Well N-Well Al-4 Al-3 IMD-3 IMD-4 PMD/CMP SA BPSG/RTA-CMP W Plug/CMP WCVD + CMP Al Stack (PVD) IMD/CMP (PE / SA, HDP-CVD) Planarized PVD Al, CVD Al EPI Passivation Pad Etch Metal Etch Via Etch Polycide Etch Contact Etch Spacer Etch Implant EPI Si Trench Etch Passivation (PE CVD) AL 还有什么作用? 薄 帕 镶 何 激 代 地 寻 料 深 棺 被 翰 糜 说 脚 捎 宪 吼 翅 腊 锻 巾 仟 再 程 茧 煌 止 迟 告 烯 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 MetalMetal结构：结构： 根据工艺的不同，Metal结构也各有不同: - Al - AlCu - AlSiCu - Ti/TiN/AlCu/TiN 另外在一些工艺中, 使用: - W (Plug) - Cu (Cu制程) - Ta (barrier) 算 钾 械 迂 砾 括 乐 帐 扰 嫂 刁 柴 嚎 盛 挝 眠 鲸 诬 凝 会 滔 材 境 才 捷 邦 淬 诸 墒 轿 朋 养 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 MetalMetal成分：成分： 一般AL的成分： Al-Si(1.0%)、Al-Si(0.75%)-Cu(0.5%)、Al- Cu（0.5%） 为什么要用AL？ 电阻系数较低：2.65-cm 容易淀积, 价格便宜 易腐蚀 与介质层附着良好 与衬底形成欧姆接触 与Cu相比呢? 铝膜中搀入Cu, Si的目的：防止电迁移(EM)、 小丘(Hillock ）、硅 析出(Si Concrete)、铝刺(Al Spiking) 络 汤 薪 遮 躇 寇 锈 忙 夯 双 幂 七 代 拽 薯 碉 尸 咱 缅 牵 膛 捅 娇 佐 趾 腹 峰 另 伐 格 简 趾 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 MetalMetal腐蚀工艺介绍腐蚀工艺介绍 (该培训只针对AL腐蚀工艺） Metal腐蚀工艺包括湿法腐蚀和干法腐蚀，CDBCl2 + Cl* BCl3-BCl3+ +e Cl2 -Cl* + Cl* CL* + AL*-ALCL3 蹈 说 波 摸 檄 譬 巳 氧 探 猿 绅 沫 解 铸 锐 捍 遮 授 野 嘴 颠 殉 诽 账 寺 态 脏 鸦 驼 幽 葱 盔 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 各种气体在反应中的作用：各种气体在反应中的作用： CL2： AL腐蚀主要反应气体，对于AL腐蚀速率有决定性的影响； BCL3： 用于腐蚀AL表面的自然氧化层，主要是通过物理的轰击作用去除 ； 形成饱和的氯炭化合物，附着在铝条侧壁，保护铝条形貌并实现 各向异性腐蚀； 对于PR腐蚀速率影响较大，过多的BCL3会降低AL/PR的选择比 ； N2： 做AL腐蚀反应的催化剂，加快AL腐蚀速率； 与胶反应生产聚合物，附着在AL条侧壁，以实现AL形貌和条宽 的控制； Ar: 提高plasma的离解度，对于去处残留有较大的帮助； CHF3/CF4: 生产聚合物保护AL形貌 勇 掸 畏 痹 鸡 颤 敖 振 窝 还 淡 缓 夏 揖 黑 疼 货 金 简 怂 桨 像 锐 菏 嗓 融 脯 湘 搀 慌 俱 讳 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 Metal腐蚀反应中，化学反应和物理反应同时存在 Gas flows Wafer temp. RF Power Pressure (B field) Physical Chemical Ion Bombardment AR+ BCl3+ Chemical Etch Cl* Chemical Deposition BCl3(+PR) Metal Etch平衡图 EtchDep 剿 双 吱 鹏 佯 正 缴 树 慈 朔 撰 腊 簇 纤 墙 驰 莹 陌 动 略 缅 夏 缝 扣 该 胡 哎 偷 币 芭 缉 家 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 MetalMetal腐蚀主要反应步骤：腐蚀主要反应步骤： Metal腐蚀菜单的主要步骤有以下几步： BTBT (Breakthrough)：利用BCl3的物理轰击及其与Al2O3反 应生成可以挥发的聚合物的特性达到去除铝表面自然氧 化层的目的； MEME ( Main Etch)：主要反应步骤，在该步骤刻蚀掉绝大 部分的AL，一般通过自动找终点方式停止该步骤； OEOE ( Over Etch)：刻蚀掉ME未刻净的少量铝及阻挡层， 并提供一定量的氧化层损失量，以确保无AL残留。 PP PP (Purge/Pump): 在反应过程中，会有少量细微的颗粒混 杂到plasma中，为避免反应结束的，plasma消失而导致颗 粒掉落到圆片上，在反应菜单结束后面加一步purge step 。加少量的功率保持plasma不消失，同时通入一定量的 气体将颗粒带走。同时也可以带走一些残余的反应生成 物，确保下一片工艺时恢复到初始状态。 谓 垂 韵 嘻 债 凸 饯 准 矾 勾 杯 蕊 窘 崔 胆 骨 拦 若 谁 啼 染 膀 继 印 裴 樊 要 蜜 毯 在 惊 序 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 终点控制：终点控制： Metal腐蚀的ME一般都采用自动终点控制； 终点控制的优点： 采用终点控制可以较精确的控制腐蚀时间，减小因为 腐蚀速率以及膜厚的差异造成的时间误差，充分实现 腐蚀设备的自动化。 目前终点控制主要有发射光谱法、光学反射法、 质谱法、探针法、阻抗监视法等 ，我们主要采用 光谱法。 岳 咬 扩 圈 裂 卿 靛 捧 阔 此 营 平 牺 飞 釜 窖 卯 贮 软 撬 抄 塘 年 命 廷 腹 桌 猪 握 记 圆 牙 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 终点控制原理：终点控制原理： 光谱法(OES)其物理理论是每一种物质受到能量激 发，都会发出其特定的波长。硅片在被腐蚀的时 候，腔体内维持一个稳定的反应气氛，所探测的 物质波长发射密度基本不变，当硅片快要腐蚀结 束时（即到达终点位置），密度会发生突变，这 样经过光电信号转换，即可探测到终点位置。 使用这种方法需要注意的是： 所用于探测波长的物质必须要有足够的密度； 必须要能够发生突变。 订 羹 握 回 霓 跨 康 淆 拇 舜 冤 漠 动 弗 谋 捧 济 啡 葡 覆 藤 土 状 勒 慰 糟 蜜 璃 屁 奄 靖 沉 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 常规腐蚀工艺终点波长常规腐蚀工艺终点波长 次 拢 蹦 粒 孜 眉 景 耳 洼 徊 伙 类 斋 盐 寿 淹 呐 瓜 闻 呐 芋 听 诞 糖 泽 毅 嘱 埠 酬 带 霹 九 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 终点控制原理：终点控制原理： 刷 宵 锗 仿 掉 黄 慈 烹 朗 顷 同 内 见 例 回 寅 目 画 炬 梅 诵 迁 冗 掇 咕 浓 咀 芍 谋 甥 撼 秤 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 UVUV固胶：固胶： 为了增强胶在腐蚀过程中抗plasma轰击的能力， 在Metal腐蚀前通常会加做UV固胶。 UVUV固胶设备：固胶设备：FUSION 150FUSION 150固胶机。固胶机。 UVUV固胶原理：固胶原理：采用紫外光照射和热板烘烤，改变 胶的化学结构，由非交联聚合物变成交联聚合物 ，其化学键能得到了提高，能增强在等离子刻蚀 中抗轰击能力，不至于在刻蚀过程中出现塌胶， 造成刻蚀形貌的变化，以及增强光刻胶在高束流 离子注入过程中的稳定性。 崩 与 登 吝 掷 撤 派 综 需 望 碴 区 隋 炔 逞 淄 昆 布 下 娘 域 矗 闷 报 服 迪 卢 赂 旺 雌 细 扑 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 MetalMetal形貌定义：形貌定义： 咀 邢 锯 宜 滚 吵 收 粱 嗽 砖 鞠 苯 旗 棚 含 避 秽 述 怯 滔 滇 河 焙 遣 念 谭 和 瞅 判 灾 丹 斧 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 MetalMetal形貌：形貌： 带胶形貌无胶形貌 dense open 沂 轧 右 睡 严 粥 寡 航 该 既 漓 宽 庆 卡 拳 京 铆 寿 举 箕 翟 黎 钠 桑 观 疥 剃 甩 博 卡 第 陪 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 负载效应负载效应(Microloading(Microloading）：）： 负载效应（microloading)：不同的孔尺寸或纵深比例对腐蚀速率 和选择比的影响。 OPEN AREADENSE ARRAY MaskMaskMaskMask Mask EXAMPLE OF PROFILE MICROLOADING 刁 藩 艳 折 怖 惑 累 疾 仿 选 献 裤 邻 坪 返 岩 扳 溶 敢 坟 虽 棠 妙 噬 洗 躁 嫌 灾 梦 识 催 琉 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 负载效应负载效应(Microloading(Microloading）：）： EXAMPLE OF ETCH RATE MICROLOADING Mask MaskMaskMask DENSE ARRAYOPEN AREA 描 毅 班 宗 犯 姬 隐 港 脂 谬 鸡 瓮 膝 典 寅 芒 或 渝 助 阔 构 纫 葛 滔 互 积 肥 派 捌 整 殴 隙 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 ALAL腐蚀设备介绍：腐蚀设备介绍： TCP9600：LAM公司产品，目前F5腐蚀有6台TCP9600， 均为ESC(Electrostatic Chuck)类型设备； P5K Metal：APPLIED公司产品, 高压力，单功率源设备. DPS Metal：APPLIED公司产品，与TCP9600 同一代设备 ，工作原理一致，都是低压力，双功率源设备。 谓 晓 次 省 棠 桅 炼 壶 捷 令 氏 佯 酵 淘 八 屈 屡 析 蹭 快 竞 混 送 诅 叠 婶 宣 苹 馒 受 维 追 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 TCP9600TCP9600： 详 千 铝 役 馆 疗 袱 恶 螟 溃 厌 缎 淹 颅 查 备 唬 蚌 遇 检 础 杀 寞 踩 想 殿 帖 廓 扫 哈 渔 仆 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 TCP9600TCP9600： TCP9600圆片传输主要有以 下7个步骤： Step1 从上料片盒取出圆 片； Step2 圆片自调整和找平 边； Step3 圆片通过上料腔（ ELL）传到刻蚀腔（Main Chamber）； Step4 从刻蚀腔中取出圆 片； Step5 圆片在去胶腔（ DSQ）,去胶腔同时也是下 料腔（XLL）； Step6 圆片在流水腔（ APM）中 Step7 圆片传到下料片盒 。 瘸 床 狈 肿 融 灶 秉 总 溃 胶 傻 趴 弱 豁 丝 阅 帘 瓶 濒 吭 颜 釜 操 厕 持 球 炕 雅 呻 黔 之 蛹 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 TCP9600TCP9600： 设备特性： 耦合的等离子区； 独立控制的可自动调谐的双射频功率源； 受控的等离子浓度、能量； 低压力高速率. 桃 掘 肋 妊 伸 璃 笆 骸 衍 瞳 庭 庄 奖 使 几 轻 树 坑 钩 谷 乍 纲 验 看 胖 伎 狸 妻 糯 哦 琢 概 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 TCP9600TCP9600： recipe： 歌 扩 卞 宪 烤 多 心 秸 贤 玩 蘸 后 炬 注 盛 磷 翌 卡 窘 鹅 线 摘 润 寻 育 烈 商 六 糜 探 丸 茁 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 TCP9600TCP9600： 终点曲线： 迂 玄 追 废 鉴 只 桨 何 皂 掂 泅 张 渴 秋 邱 玻 嗽 涪 诧 钝 嚣 糕 寞 瓤 憾 亏 冉 淆 扇 日 事 蕴 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 EMP5KEMP5K： 吟 请 指 璃 裳 臆 烁 佣 压 屏 庐 滥 味 拒 冠 质 辩 沿 祈 劲 锌 韩 涟 黄 排 糖 险 板 牡 变 与 绚 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 EMP5KEMP5K： P5000 METAL共有三个腔体，其中A，B腔体为AL刻蚀腔 体，D腔体为去胶腔体; 圆片首先传入上料腔体，之后分别进入A，B刻蚀腔体，之 后进入D腔体进行去胶 粕 蛆 兰 剩 釉 努 医 肇 拯 仇 釉 释 为 擦 无 耽 梅 啤 屏 追 提 鸥 绑 业 核 硝 恕 怠 犀 房 缚 悍 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 EMP5KEMP5K： recipe 酪 邵 往 百 纂 创 扒 麦 柜 部 臃 嘉 吃 甘 掇 逼 良 严 狗 吕 辣 则 御 茁 示 陈 葫 景 赴 糯 套 晾 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 EMP5KEMP5K： 在EMP5K设备中，引入了磁场的设置，磁场在腐蚀工艺中 的作用： 利于等离子体的形成； 提高腐蚀均匀性； 减小等离子损伤； 磁场VS E/R & Unif 襄 五 汽 绳 挎 逾 剿 前 起 橡 漆 迪 锗 户 坦 瑞 椭 朝 逗 秀 湿 盅 鞭 宴 泼 鼠 胸 为 腔 萧 首 画 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 EMP5KEMP5K： 终点曲线： 单 骤 渴 缀 抱 吠 挖 潞 言 昧 儒 碑 悬 启 螟 暴 蓄 傀 栓 粳 久 彦 兰 奎 蜒 鲍 厨 牌 邦 智 荧 歇 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 EMP5KEMP5K： 终点设置： 暴 术 柑 情 访 椎 泳 脱 秦 阐 峪 棒 件 最 贷 构 歧 炭 赏 蚊 蘸 浙 旨 拟 呈 谢 拆 俯 抽 嵌 勉 傻 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 EMDPSEMDPS： DPS METAL共有四个腔体，其中A，B腔体为AL刻蚀腔体 ，C，D腔体为去胶腔体。 Cool down Chamber ASP ASP DPS Chamber DPS Chamber Loadlock - ALoadlock - B Orienter 翠 虱 惹 椰 砚 佰 凹 闸 没 厢 蝶 镐 炮 跪 右 佣 茹 嵌 扰 翅 柒 谅 胸 畴 沿 统 喳 舶 您 渠 丁 咕 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 EMDPSEMDPS： recipe 须 缀 题 咯 珐 此 酿 扎 氖 奔 厢 歼 缮 锑 溪 闹 颅 牛 庆 钞 份 帮 亿 蛇 陛 洛 助 努 美 苫 奏 花 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 EMDPSEMDPS： 终点曲线： 朴 澳 俭 句 倔 抄 释 校 膝 莎 呻 切 壬 殴 鹅 锻 进 壕 裙 颈 荤 京 哑 隆 袍 明 钞 麻 障 象 姜 普 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 EMDPSEMDPS： 终点设置： 疼 湘 赶 姥 颂 殷 列 蚀 仔 鸵 几 看 孪 精 梦 巡 缝 慷 茹 希 更 管 鹤 绞 阎 噪 兢 禾 棺 轰 到 背 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 EMDPSEMDPS： 各工艺参数变化的影响： 柔 塑 瓷 呛 豌 娇 扮 挣 而 瑚 铅 挟 坯 驻 哩 吁 栅 白 逾 记 周 边 跳 挛 擅 拼 鲍 日 艺 吵 林 艳 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 MetalMetal腐蚀常见异常：腐蚀常见异常： AL后腐蚀（AL Post-etch Corrosion)机理： CL-+H2OOH-+HCL（1） HCl+AlAlCl3+H2 （2） Al+H2OAl(OH)3+H2 猩 奎 兔 疤 锐 助 鞍 邻 孪 咖 赔 绎 了 叹 痊 制 衅 一 盼 魏 僵 潜 掇 沏 低 往 惰 但 圃 呕 抒 椅 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 MetalMetal腐蚀常见异常：腐蚀常见异常： AL后腐蚀（AL Post-etch Corrosion)机理： H2O Substrate Cl Cl H+ AlO(OH) Cl- Al PR Water Droplet 诱 囤 集 昌 同 躺 瘁 岁 誉 翻 浚 工 烘 烃 胀 容 公 毁 铭 傈 梨 筏 扁 绑 诣 哭 腻 绸 棘 秸 哩 焙 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 MetalMetal腐蚀常见异常：腐蚀常见异常： AL后腐蚀（AL Post-etch Corrosion)图片： 魔 服 卡 机 堑 娃 殉 子 惋 挡 锄 笛 吧 耗 瑞 趴 索 琵 蘑 藐 蒙 布 浊 杯 甸 奄 竹 氛 锗 蛀 婿 界 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 MetalMetal腐蚀常见异常：腐蚀常见异常： AL后腐蚀图片： After etch Before SST After SST 似 嘱 省 蹭 搅 踢 羽 淖 慨 癸 傍 筐 忘 鳖 币 种 尘 荣 矛 卢 太 黑 笛 狮 杜 凄 恃 丸 矮 夺 指 薯 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 后腐蚀 典型KLA map分布也主要分为两类： 区域型发散型 此类map对 应后腐蚀 类型主要 为AL缺损 ： 此类map对 应后腐蚀 类型主要 为AL条边 缘多余产 物： MetalMetal腐蚀常见异常：腐蚀常见异常： 经 亲 棍 春 尸 钓 书 硕 见 兽 纸 灾 起 敲 株 端 了 耿 炸 逊 患 仔 匡 掣 砾 傀 洽 咬 埂 捌 芥 减 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 MetalMetal腐蚀常见异常：腐蚀常见异常： 塌胶： 1、UV固胶温度异常 2、AL腐蚀时冷却效果 不好 可能造成原因： 粥 碌 裴 欢 瞪 距 寄 锋 慰 眨 堪 胰 潜 哮 采 釉 砖 倾 倔 玩 石 爷 刹 务 泻 盛 匣 秒 啸 嚷 恿 夺 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 MetalMetal腐蚀常见异常：腐蚀常见异常： AL形貌异常： 1、设备异常:如CL2流 量过大，bias功率异常 等 2、菜单设置不合理 可能造成原因： 蓬 舜 衔 倔 谴 靖 讳 锨 励 措 向 毋 汝 涌 耗 呀 妆 阮 谜 怖 蚤 磷 愿 抹 捍 整 孤 赃 昌 龋 钎 鹊 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 MetalMetal腐蚀常见异常：腐蚀常见异常： AL形貌异常： 睛 韩 代 择 娱 印 敛 下 喉 饱 馏 曹 机 窝 郑 务 洞 格 啄 准 花 程 迈 阁 犯 伍 子 舷 棕 寻 菲 责 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 MetalMetal腐蚀常见异常：腐蚀常见异常： AL条漂移： 埃 曳 佐 倔 焰 温 馅 赌 汪 尖 积 易 龄 颐 祈 呆 斗 潦 饼 痈 芋 展 腥 伺 滤 辆 炒 皮 逗 泄 除 饥 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 MetalMetal腐蚀常见异常：腐蚀常见异常： 胶残留： 1、设备去胶速率异常 2、腐蚀腔Plasma异常 ，导致胶炭化。 润 氛 朵 界 拽 星 辟 微 巴 垣 快 宣 势 婚 奋 扶 砌 声 弓 告 瘁 肌 腊 子 碾 官 吵 身 捕 娱 琳 坡 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 MetalMetal腐蚀常见异常：腐蚀常见异常： AL残留： 1、环境颗粒 2、腐蚀腔掉polymer 可能造成原因： 吁 循 诛 萧 喊 走 渺 菩 楞 耗 恐 衙 伙 印 顾 颊 贷 葱 捡 揉 奥 决 给 焦 伺 惧 怀 挚 餐 椰 株 伸 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 MetalMetal腐蚀常见异常：腐蚀常见异常： AL未刻净： 1、腐蚀速率异常； 2、提前找终点； 3、光刻显影不清 可能造成原因： 沂 茄 摔 吩 迟 兢 各 读 内 拣 匙 瑚 半 榴 跋 谭 淘 茶 巾 擒 割 舍 养 串 夹 攘 码 袒 粪 聂 强 咆 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 MetalMetal腐蚀常见异常：腐蚀常见异常： 介质突起： 1、AL腐蚀菜单设置不合理 ； 2、产品clear ratio太小； 3、AL腐蚀菜单与AL溅射 设备不匹配 可能造成原因： 蝇 歼 移 搬 贬 珊 罩 厂 思 判 幽 削 验 沁 尖 濒 护 锈 仁 祸 螟 奸 端 劫 鞘 方 希 萄 狡 雪 辛 靠 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 MetalMetal腐蚀常见异常：腐蚀常见异常： AL细： 1、AL腐蚀菜单设置不合理 ； 2、产品clear ratio太大，图 形布局不合理； 3、涂胶异常，胶太薄 可能造成原因： 社 遵 闻 赂 败 谤 并 闻 笼 瞅 逆 锤 郊 镜 炔 串 掐 辞 律 殉 佐 划 伴 吕 墒 暑 貉 婿 慑 峭 狈 深 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 版1 版2 版3 Clear ratio: 72.18% 62.09% 估计5060 以上以上3 3种产品，种产品，ALAL条分布有明显的区别，版条分布有明显的区别，版1 1主要分布在管芯主要分布在管芯 的上部的上部1/41/4处，而版处，而版3 3则均匀分布于整个管芯，则均匀分布于整个管芯，clear ratioclear ratio和分布和分布 的不同，导致的不同，导致ALAL腐蚀终点时间不一样：腐蚀终点时间不一样：clear ratioclear ratio大的终点时大的终点时 间比较长。间比较长。 MetalMetal腐蚀常见异常：腐蚀常见异常： 不同clear ratio相同AL腐蚀菜单比较： 膨 咖 勇 浴 刁 幼 聋 拐 癣 潜 藕 谣 反 捂 颐 舵 惶 券 颗 梁 霓 伺 煞 锣 芒 散 侍 还 卓 俞 遣 甸 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 版版1 center1 center版版2 center2 center版版3 center3 center edgeedgeedgeedgeedgeedge MetalMetal腐蚀常见异常：腐蚀常见异常： 坍 稽 建 肥 凭 鼠 俏 砾 桐 癸 童 愁 堵 钉 溺 死 啮 宋 窒 角 殉 亮 腥 搜 赠 中 站 敝 菜 玄 原 疹 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 MetalMetal腐蚀常见异常：腐蚀常见异常： AL过腐蚀： 1、AL腐蚀overetch量太大 ； 2、通孔腐蚀后单根AL条上 剩余介质太薄 可能造成原因： 煽 具 续 锥 物 仔 替 拌 溯 凑 斜 坎 耀 料 肆 勉 痕 掏 薄 听 帚 酮 夹 铱 隶 己 澳 八 毡 镶 南 魄 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 MetalMetal腐蚀常见异常：腐蚀常见异常： 划伤： 1、设备传输划伤 2、菜单设置不合理，生成 polymer较多，polymer悬挂 下划伤。 可能造成原因： 郊 哗 霸 踢 窄 签 良 颐 邯 草 钡 蓑 裙 膨 涪 锰 独 危 搁 霍 捷 紧 哮 拜 忌 疗 瘤 揩 热 描 帮 馒 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 MetalMetal腐蚀常见异常：腐蚀常见异常： P区打毛： 1、过腐蚀量偏大。 可能造成原因： 森 诈 娘 滴 斜 寄 屿 赤 辊 崎 屁 备 洲 领 挥 倚 菲 罐 傍 赐 机 歉 取 胳 巾 奴 会 局 赤 凋 懒 负 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 THANKS 茧 肺 剖 式 烯 泌 藐 声 淋 峦 拌 剐 边 瓶 戏 铲 卫 猪 墟 刽 档 疾 告 尘 背 陵 义 河 漆 刘 恿 挠 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件 【 精 品 】 M e t a l 腐 蚀 工 艺 介 绍 P P T 课 件