单晶截断作业指导书.doc
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1、单晶截断作业指导书篇一:切断作业指导书2 篇二:单晶拉制作业指导书(新) 篇三:MB264单晶切割作业指导书 篇四:单晶作业指导书 一、取单晶准备 1、准备好线手套、耐高温手套、无尘纸; 2、准备好钢丝钳、取单晶的小车; 3、用沾酒精的无尘纸将炉体从上到下擦拭干净,并保持整洁; 二、拆炉取单晶 1、待单晶冷却4小时后,关闭Ar气,然后提升单晶至副室,从副室观察窗确认单晶升至 所需高度; 2、待炉内压力到达极限真空后,先关闭主泵球阀后关闭真空泵电源,然后进行检漏; 3、若无异常,拧开小副室门四个螺栓,打开副室氩气阀门,查看副室压力表指针到0位和 副室小门可以被打开时,才可以升晶棒到副室腔内并高于
2、副室门,盖上隔离阀,打开液压泵电源,升起副室; 4、把取单晶的小车放在副室炉筒正下方,准备接单晶; 5、稳定单晶,移开安全接盘,按下晶快降,将单晶降入取晶小车内; 6、确认单晶完全放入小车内后,戴上手套,抓紧重锤,用钢丝钳将籽晶从细径处剪断,然后稳定重锤,将籽晶从重锤上取下,再将重锤升至副室内; 三、导流筒.保温盖.锅底料的取出 1、准备好不锈钢小车和取导流筒挂钩(埚杆扳手); 2、戴好手套及耐高温手套; 3、按顺序取出导流筒和保温盖; 4、取出的石墨件要放在不锈钢台车上; 1、戴好耐高温手套和准备好钳子; 2、用钳子夹住石英埚的上端部分提起,使其松动; 3、戴好耐高温手套将石英坩埚取出,若石
3、英坩埚和埚底料能全部带出直接放入不锈钢小车 上;若不能则将石英坩埚硅料放到车间指定的区域,剩下的埚底料随三瓣埚一并取出,若出现整炉报废等意外情况则,用耐高温手套直接将石英埚体和硅料一并取出; 四、清理大罐 1、准备好毛刷、吸管、专用工具; 2、带好手套、防尘口罩; 1、用专用工具大罐盖螺栓,取出罐盖和过滤网; 2、用毛刷和吸尘器仔细清扫过滤网及大罐内的氧化物; 3、将清扫后的过滤网缓慢放进大罐; 4、用刷子和吸尘器清扫罐盖; 5、用沾酒精的纸擦拭罐盖和密封部件; 6、盖好大罐盖并用专用工具拧紧螺栓; 五、管道炉盖的清理 1、带口罩、手套; 2、准备好防尘口罩、无尘纸、酒精、清扫用的氩气、研磨布
4、、毛刷、吸尘器管等清扫所需 物品; 1、用毛刷和吸尘器清扫抽气管道内的挥发物,吸尘器管必须伸入管道底部以便将管道内的挥发物彻底吸尽; 2、安装管道盖时,一定要检查密封圈是否完好、洁净,拧紧螺丝时一定要对角拧紧,以防抽空时漏气。 六、小付室的清扫 1、打开副炉室门; 2、用沾有酒精的无尘纸擦拭小付室的附着物; 七、石墨件的清理 1、准备好清扫用品(毛刷、无尘纸、氩气、吸尘器管、研磨布、除硅点的专有工具、放石 墨件的洁净小车等)带好手套、防尘口罩; 2、依次用毛刷、吸尘器、无尘纸、清扫石墨件,直至确认无污物; 炉内的清理 1、准备好毛刷、吸尘器和专用工具; 2、用专用工具仔细地疏通废气孔,用吸管吸
5、净炉筒和保温材料及加热器上沿拆炉时落掉的 残渣; 3、用毛刷和吸管仔细用力清扫保温筒,加热器所能触及到的部位; 八、 安装石墨件 1、依次安装石墨件 埚杆.埚托.三瓣埚. 安装石英埚 1、 打开石英坩埚包装,对光检查石英坩埚的内壁有无裂纹、污物、气泡和黑点; 2、 若无异常,用氩气对石英坩埚做认真仔细的整体吹扫,吹净浮尘; 3、 在炉内的石墨埚上装好石英坩埚; 装料 1、 将母合金放入石英坩埚内; 2、 在埚底平铺小型硅料,然后将大型硅料放在上面; 3、 在大型硅料之间的间隙里填充小型硅料; 4、 在大块硅料装完后,再装中型硅料; 5、 在装料到石英坩埚最上层时,中型硅块料靠坩埚壁尽量以点接触
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