GB4059-1983.pdf
《GB4059-1983.pdf》由会员分享,可在线阅读,更多相关《GB4059-1983.pdf(5页珍藏版)》请在三一文库上搜索。
1、中华人民共和国国家标准 UDC 8 6 9 . 7 8 2 : 5 4 8 . 2 : 5 4 3 . 叱 硅多晶气氛区熔磷检验方法G B 4 0 5 9 -8 3 P o l y c r y s t a l l i n e s i l i c o n -E x a mi n a t i o n me t h o d -Z o n e - me l t i n g o n p h o s 曲o r u s u n d e r c o n t r o l l e d a t mo s p h e re 本标准适用于三氯氢硅及四氯化硅氢还原在细硅芯上 沉积硅多晶所生长出来的硅多晶棒。 检测杂质 浓
2、度有 效范围0 . 0 2 一 2 0 p p b a o N型电阻率范围1 0 一 2 0 0 0 Q- c m. 1 方法原理 1 . 1 原理 利用 硅区 熔时硅中磷硼的 有效分 凝系 数的差 别及磷硼从硅中 蒸发 速率的差 别。 1 . 2 方法 气氛区熔法。 试样制备 2 . 1 取样部位 除 在 桥形 硅多 晶 棒 硅 芯 搭 接处或 者 直 的 硅 多 晶 棒 离石 墨卜 头I O m m 一 段 外 均 可 取 样 ( 如图1 ) a 2 , 2 试 样尺寸 直径1 0 一 4 0 mm o 长度7 0 一 2 0 0 m m o 2 3 试 样处 理 2 . 3 . 1 在化
3、 学 纯丙酮中 洗样去油。 2 . 3 . 2 用化学纯乙醇清洗2 。 一3 0 s 后用电 阻率大于I O M S 的去离子水冲洗。 2 . 3 . 3 在优级纯HF : HN 0 3 = 1 : ( 3 一5 )体积的混合酸液中 腐蚀2 m i n x 2 . 3 . 4 在第二份优级纯H F: HNO3= 1 0 ( 3 一5 )的混合酸液中 腐蚀2 m i r y : 一: 一: 用电阻率大于1 0 M 5 2 的去离子水冲洗试样至中 性 将试样经超声波或用去离子水多次煮沸,洗涤,烘干,包装待用。 3 仪器设备 内热式区熔炉。 4 籽晶制备 4 . 1 籽晶 规格 电阻率大于3 0 0
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- GB4059 1983
链接地址:https://www.31doc.com/p-3760356.html