四探针说明书样本.docx
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1、资料内容仅供您学习参考,如有不当或者侵权,请联系改正或者删除。SZT-2C 四探针测试仪使用说明书一概述SZT-2C 型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置,配上专用的四探针测试架,即能够测量片状,块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率 , 测量扩散层的薄层电阻 ( 亦称方块电阻 ) 。四探针测试架有电动 , 手动 , 手持三种能够选配 , 另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的 中, 低阻阻值。仪器由主机 , 测试架等部份组成 , 测试结果由液晶显示器显示 , 同时 , 液晶显示器还显示测量类型 ( 电阻率 , 方块电阻和电阻 ) ; 探头修正系数
2、和温度值 , 用来监测仪器使用时的环境温度。主机由开关电源 , DC/DC 变换器 , 高灵敏度电压测量部份 , 高稳定度恒流源 , 和微电脑控制系统组成。 由於采用大规模集成电路 , 因此仪器可靠性高 , 测量稳定性好。测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针 , 定位准确 , 游移率小 , 使用寿命长。仪器适用於半导体材料厂,半导体器件厂,科研单位 ,高等院校对半导体材料电阻性能的测试。本仪器工作条件为:使 用 温 度:23 3相 对 湿 度:50%70%资料内容仅供您学习参考,如有不当或者侵权,请联系改正或者删除。工作室内应无强磁场干扰,不与高频设备共用电源,二,技术参数1,测量范围6电阻率
3、 :10?-10 ? -cm方块电阻 10?- 106?/ 电阻10- ?- 106 ?2, 可测半导体材尺寸直径:5-250mm长( 或高 )度: 400mm( 如配探笔能够测量任意长度)3,测量方位轴向 ,径向均可4,数字电压表 :( 1)量程: 20mV,200mV,2V( 2)误差: 0.1%读数 2 字( 3)输入阻抗 :10 ?( 4)最大分辨率 :10 V( 5)点阵液晶显示 , 过载显示。5,恒流源 :( 1)电流输出 : 共分 10 A,100uA,1mA,10mA,100mA六挡可经过按键选择 , 各挡均为定值不可调节 , 电阻率探头修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内资
4、料内容仅供您学习参考,如有不当或者侵权,请联系改正或者删除。CPU运算后 ,直接显示修正后的结果。( 2)误差: 0.5%2 字 , 在使用 1 A恒流电流输出时为 0.5%5 字6,四探针测试头 ;(1) 探 针 间 距 : 1mm(2) 探针机械游移率 : 1.0%(3) 探 针 材 料:碳化钨 , 0.5mm(4) 0-2Kg 可调 , 最大压力约 2Kg7,温度传感器 ;本仪器增加了高精度的温度传感器 , 以监测仪器使用时的环境温度。温度测量的范围; +99 -55 温度测量的精度;0.5 8,电源:交流220V 10%功耗35W本仪器能够选配电动测试架 , 手动测试架 , 手持探险头
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